美国OMEGA气体质量流量控制器和流量计FMA3100系列

FMA3100系列质量流量传感器代表着质量流量传感器技术领域的突破。电子器件、紧凑的机械设计以及批量生产加工理念在这一高性能、低成本的产品中集中体现。气体流量传感器适合多种OEM应用。0 ~ 5 Vdc线性输出作为标准输出信号。

FMA3200质量流量控制器外形小巧，它利用基本的FMA3100热式质量流量传感器提供精que、稳定的气体流量控制。在断电模式下，流量控制阀关闭，同时泄漏率zui低。这种具成本效益的控制器是众多OEM应用的理想之选，它提供0 ~ 5 Vdc线性输出并接收0 ~ 5 Vdc的控制输入。

FMA3300在FMA3100流量计功能的基础上增加了一个可调节3位半数字LCD数字显示仪表，用于查看以工程单位（即mL/min或L/min）显示的流量。已经证实，这些紧凑型流量计在很多实验室应用中效果显著。

规格:
输出：0 ~ 5 Vdc（zui小值2500 Ω）
输入设定电压（仅FMA3200）：0 ~ 5 Vdc
精度：满量程的±1.5%*
重复性：满量程的±0.5%
响应时间：在满量程的25 ~ 100%范围大约2秒（常规）达到设定流速的±2%内
工作环境：10 ~ 50°C (50 ~ 122°F)，无冷凝空气
工作压力范围：25°C (77°F)时达到zui大值150 psi
温度系数：每°C为±0.2%
压力系数：每psi为±0.02%
泄漏完整性：对于外界环境，zui大值为1x10-4SCCS氦气
输入电源：

   FMA3100和FMA3300：12 ~ 15 Vdc，100 mA (1.5 W)

   FMA3200：12 ~ 15 Vdc，250 mA (3.75 W)

连接口：流速达到1 L/min时，采用⅛"压合接头；流速达到5 L/min时，采用¼" 压合接头；流速达到10 L/min时，采用⅜"压合接头
接液材质：阳极氧化铝、氟橡胶O形圈、304和316不锈钢、环氧树脂、乙缩醛压合管接头（标配）
量程比：10:1
气体：大部分洁净、干燥气体（例如，空气、氮气、二氧化碳、氩气、氢气、氦气、甲烷、氧气）
过滤：如果气体中含有任何颗粒物质，需要使用20微米过滤器

规格（FMA3200流量控制器）
压差：15 ~ 40 psi
阀门工作寿命：>1百万次循环；阀门处于常闭状态
控制量程：50:1
远程设定电压：0 ~ 5 Vdc
重量：

   FMA3100：199 g (0.44 lb)

   FMA3300：249 g (0.55 lb)

   FMA3200：386 g (0.85 lb)
不带接头的尺寸（近似值）：

   FMA3100：47（长）x 26（宽）x 90 mm（高）(1.87 x 1.03 x 3.55")

   FMA3300：47（长）x 26（宽）x 127 mm（高）(1.87 x 1.03 x 5.0")

   FMA3200：81（长）x 26（宽）x 97 mm（高）(3.17 x 1.03 x 3.80")

* 一般规格下的标定精度在下列情况下有效：

1. 温度范围18 ~ 25°C (64 ~ 77°F)

2. 暖机时间：至少10分钟

3. 稳定的电源输入电压(12V ±0.1V)（常规）

4. 线性度：在zui高500 SCCM流量范围内时，增加±0.5%， 超过500 SCCM时，增加±1.0%

5. 精度范围：10 ~ 100%

6. 对于FMA3100和FMA3300，管路压力为1 ~ 30 psi，对于FMA3200，为厂家指定的设置

7. 使用（指定的）工厂用气体

OMEGA质量流量计订货信息：

配备操作手册和0.6 m (24")信号／电源电缆（仅与下面的电源兼容）。

如需4测量点NIST校准证书，请将后缀“-NISTAIR”添加到型号中（需付额外费用）。

订购示例：FMA3307，带显示屏的0 ~ 2000 SCCM流量计和FMA3115PW，电源／输出信号电缆。

按单生产

* 指定气体、入口／出口压力和温度

** 流量范围以干燥空气或氮气为基准；还提供其它气体（二氧化碳、氦气、氩气、氢气、甲烷、氧气）的范围（需付额外费用）。

如需可选4测量点NIST校准证书，请将后缀“-NISTAIR”添加到型号中（需付额外费用）。

订购示例：FMA3203-（氦气，20/0 psig，70°F），0 ~ 100 SCCM流量控制器和FMA3215PW，电源／输出信号电缆。

配件：