美国OMEGA电子气体质量控制器FMA5400A/FMA5500A系列

FMA5400A/5500A系列电子气体质量流量计可控制0~10 SCCM范围内高达100 SLM的多种气体的流量。FMA5400A/5500A利用通过加热管进行的热传递测量气体流量，可提供直接的气体质量流量测量值，并且无需对（规定限值以内的）气体温度或压力进行补偿。

该产品可提供经济型铝／铜结构，适合测量普通气体流量，同时可提供316不锈钢结构，适合有更高耐腐蚀要求的应用。不带一体式显示屏的FMA5400A系列流量计具有0 ~ -5Vdc和4 ~ 20 mA模拟量输出，以便进行远程监测；FMA5500A系列流量计兼具一体式3-1/2位数字显示屏和模拟量输出。显示屏可倾斜90度，查看读数方便。显示屏经过校准，可直接显示以SCCM或SLM为单位的氮气流量（您可以通过专门订购来获得其它气体校准）。

FMA5400A/5500A质量流量控制器具有内置常闭电磁阀，无论入口压力或出口压力如何变化，都能保持流量恒定。设定值可通过电位计（电位计可通过外壳中的访问窗口访问）进行本地控制，也可通过0-5 Vdc或4~20 mA模拟信号（现场可选）远程控制。

FMA5400A/5500A系列需要使用12~26Vdc电源（zui大电流800 mA），FMA545PW墙壁插入式插座电源可满足其要求。12~15 Vdc功率@ 800 mAzui大值（限43、44、45的规格）。型号为FMA545C（单独提供）的配件提供配接式15针""D""型连接器，带8英尺屏蔽电缆用于访问模拟输出信号和电源输入连接。FMA5500A系列配备的LCD通过通讯插头与下面的电子设备相连。通过购买FMA18RC远程电缆组件可以远程安装LCD，之后，您必须自行组装组件以便进行LCD的面板安装。

质量流量计产品规格
精度：对于满量程小于100 SLM ±1% FS的装置，在15~25°C（59~77°F）和0.7~4.2 kg/cm²（10~60 psia）下具有线性度。对于≥100 SLM的装置，满量程：±1.5% FS，在15~25°C（59~77°F）和 0.7~4.2 kg/cm²（10~60 psia）下在20~100%的范围内具有线性度；在0~20%的范围内为±3% FS。
重复性：0.5％满量程
温度系数：0.15% FS/°C
压力系数：0.01% FS per psi (0.07 bar)
zui大压降：50 psid
响应时间：在25％~100％FS范围内，5秒处于设定流量的±2%范围内
zui大气压：70 kg/cm2表压（1000 psig）（适用于zui高100 SLM的装置）； 35 kg/cm2表压（500 psig）；zui佳1.76 kg/cm（25 psig）
气体和环境温度：5~50°C（41~122°F）
泄露率：对外界环境的zui大泄漏率为1×10-7 cc/sec氦气
接液材质：
 铝制流量计：阳极氧化铝，316 SS，黄铜和FKM O形圈
 不锈钢型号：316 SS 和 FKM O型圈
输出信号：
 线性0~5 Vdc：1000 Ωzui小负载
 4~20 mA：50~500 Ω 环路电阻，±20 mV zui大噪声
传感器电源：12~26 Vdc @ 800 mA 标准 量程比：40:1
装运重量：1.8 kg (4 lb)
合规性：EN55011 1类，B类；EN50082-1
海拔灵敏度：水平流径，倾斜到20°，校准也不会发生偏移
气体相对湿度:0~70% RH
zui小压降

美国omega质量流量计订货信息：

配件：

注: * Comes with ¾ FNPT connections instead of compression fittings. Comes complete with compression fittings, NIST certificate and operator’s manual.

Power supplies sold separately.

Flow ranges specified are for nitrogen or air at 20 psig inlet (up to 50 SLM) or 25 psig inlet (60 to 100 SLM units) and 0 psigoutlet. When used with other gases, a multiplication factor is used to determine the flow rate, and the digital display must berescaled in the field.

To request a custom calibration add the gas abbreviation and inlet pressure/outlet pressure as a suffix to the model number.

Calibration are done at ambient temperatures only, 21.1°C (70°F)