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FMA-A2000系列电子质量流量计／控制器性能出众、 功能多样、设计先进、外形紧凑。FMA-A2000利用毛细管式热感技术直接测量气体的质量流量。无需进行温度、压力或平方根校正。FMA-A2300／2400系列配备LCD显示屏，并且所有型号都提供线性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA输出。
FMA-A2000测量0 ~ 100 SLM之间24个量程的气体质 量流量。要查看完整列表，请参阅下一页的量程表。 FMA-A2000系列与大部分非腐蚀性气体相容。建议用户对照气体相容性检查接液材料。
OMEGA的质量流量控制器利用内部电磁比例阀控制质量流量。可以通过内部电位器设定值或者通过0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信号。
规格
精度：满量程的±1%（包括线性度）
重复性：满量程的±0.15%或者更佳
量程比：100:1
响应时间：5秒
气体环境温度：0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)
温度系数：每1°C为满量程的0.05%或更佳
压力系数：每psi为满量程的0.01%或更佳
zui低压力要求：
流量计：1英寸水柱
zui大流速为1 SLM的控制器：1 psi
流速大于20 SLM的控制器：20 psi
质量流量控制器的压差：<5 LPM，5 ~ 50 psi（标准）；>5 LPM，20 ~ 40 psi（标准）
气体zui大压力：
聚甲醛：250 psig
316不锈钢：500 psig
泄漏完整性：1 x10-6 cc/min氦气或更佳
接液部件：
标配：聚甲醛、氟橡胶O形圈
选配：316不锈钢、氟橡胶O形圈
连接口：¼ FNPT（标配）；
¼"压合接头（适用于所有不锈钢型号流量计）
输入／输出连接口：9针sub-D连接器
控制信号：0 ~ 5 Vdc
控制阀：常闭电磁阀
输出信号：线性0 ~ 5 Vdc（zui小负载1000 Ω），4 ~ 20 mA（环路电阻500 Ω）
安装螺纹：
316不锈钢壳体：6⁄32"螺纹
聚甲醛材料：#4/6自攻螺丝
输入电源：
流量计：24 Vdc @ 150 mA、115 Vac和220 Vac（带交流适配器）
控制器：24 Vdc @ 300 mA、115 Vac和220 Vac（带交流适配器）
重量：1.25 kg (2.75 lb)（含电源）
外形尺寸：参见图纸
量程表
| 代码 | SCCM | 代码 | SLM | 代码 | SLM |
| 0 | 0~10 | 6 | 0~1 | 14 | 0~35 |
| 1 | 0~20 | 7 | 0~2 | 15 | 0~40 |
| 2 | 0~50 | 8 | 0~5 | 16 | 0~45 |
| 3 | 0~100 | 9 | 0~10 | 17 | 0~50 |
| 4 | 0~200 | 10 | 0~15 | 18 | 0~55* |
| 5 | 0~500 | 11 | 0~20 | 19 | 0~60* |
| — | — | 12 | 0~25 | 20 | 0~65* |
| — | — | 13 | 0~30 | 21 | 0~70* |
| — | — | — | — | 22 | 0~75* |
| — | — | — | — | 23 | 0~100* |
订货信息：
| 型号 | 说明 |
| FMA-A21(*) | 不带显示屏的质量流量计，可选量程范围从0~10SCCM到0~100SLM |
| FMA-A22(*)-SS-(**) | 不带显示屏的质量流量控制器，带控制阀，可选量程范围从0~10SCCM到0~50SLM，316不锈钢壳体 |
| FMA-A23(*) | 带显示屏的质量流量计，可选量程范围从0~10SCCM到0~100SLM |
| FMA-A24(*)-SS-(**) | 带显示屏的质量流量控制器，带控制阀，可选量程范围从0~10SCCM到0~50SLM，316不锈钢壳体 |
配件：
| 型号 | 说明 |
| FMA-200PWA | 备用插座式插接电源（90 ~ 260 Vac） |
| SSLK-14-14 | 316不锈钢压合接头，¹⁄₄ NPT，¹⁄₄"外径管 |
配备操作手册、9针sub-D连接器、电源及NIST校准（无数据点）。
* 请插入页面顶部量程表中的量程代码，凑齐订购型号。
** 指定气体、入口／出口压力和温度。
欲购可选316不锈钢壳体仪表，请将后缀“-SS”添加到型号中（需付额外费用）（1⁄4"压合接头为标配）。对于FMA-A22与FMA-A24控制器，不锈钢壳体是标配。
注：所有指定的控制器流量范围均针对20 psig时的氮气或空气；在用于其它气体时，需要使用相关系数确定流量。
要获得5测量点NIST校准证书，请将后缀“-NIST5”添加到型号中（无额外费用）。
要获得10测量点NIST校准证书，请将后缀“-NIST10”添加到型号（需付额外费用）。
订购示例：
FMA-A2316，带显示屏的质量流量计，针对20 psig入口压力和室温的氮气而校准，量程0 ~ 45 SLM。∆P: 5 ~ 20 psi。
FMA-A2102-SS，316不锈钢壳体质量流量计，不带显示屏，量程0 ~ 50 SCCM。